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天津拉出6英寸無(wú)位錯(cuò)區(qū)熔硅單晶
天津環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司12月中旬開(kāi)發(fā)出最大直徑153毫米的區(qū)熔硅單晶，使中國(guó)硅半導(dǎo)體材料生產(chǎn)技術(shù)進(jìn)入國(guó)際先進(jìn)行列，使中國(guó)成為繼德國(guó)、日本之后，用區(qū)熔法生產(chǎn)最大直徑硅單晶的第三個(gè)國(guó)家。
該153毫米區(qū)熔硅單晶長(zhǎng)度達(dá)到770毫米，重量為22.7千克，是目前中國(guó)國(guó)內(nèi)直徑最大、長(zhǎng)度最長(zhǎng)的同類產(chǎn)品。據(jù)悉，153毫米區(qū)熔硅單晶研制成功后，將很快進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化實(shí)施階段，及時(shí)開(kāi)發(fā)生產(chǎn)硅單晶尖端技術(shù)和工藝軟件。
天津環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司運(yùn)用高科技手段，先后于2002年5月分別拉制出直徑為76毫米(3英寸)、長(zhǎng)度為2.2米和直徑為102毫米(4英寸)、長(zhǎng)度為1.5米的區(qū)熔硅單晶。6月又拉制出國(guó)內(nèi)直徑最大的130毫米(5英寸)、長(zhǎng)度為930毫米的區(qū)熔硅單晶后。
同時(shí)，該公司曾經(jīng)在生產(chǎn)中獨(dú)立開(kāi)發(fā)出的同樣可以記入半導(dǎo)體材料制造領(lǐng)域史冊(cè)的，世界首創(chuàng)、具有獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)的直拉區(qū)熔法(CFZ)單晶硅生產(chǎn)技術(shù)，也于2002年10月獲得國(guó)家生產(chǎn)發(fā)明專利授權(quán)(專利號(hào)：001055186)。
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